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설명
-필요 없는 부분을 선택적으로 제거 한다는 뜻-반도체 공정 중의 하나 반도체 공정 순서 (참고)식각 , 식각기타레포트 ,
식각
-필요 없는 부분을 선택적으로 제거 한다는 뜻
,기타,레포트
식각
-반도체 공정 중의 하나
등방성(isotropic) → 치수 조절이 힘듬
순수한 화학적 반응
높은 선택적(Selectivity) 반응
원가는 비싸나 장비는 덜 비쌈
폐기물 처리 문제 수반
순서
반도체 공정 순서 (참고)
레포트/기타
다.