[화학Engineering] SiO2 박막식각 및 PR제거 예비보고서
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작성일 23-01-30 06:27본문
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공업화학실험 - SiO2 박막식각 및 PR제거 예비보고서 [이용대상]
- 플라즈마의 종류 속성 이용
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순서
- 식각의 종류와 定義(정의)
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5.test(실험) 이론
반도체 리소그래피 OLED 식각 플라즈마 SiO2 PR
- Lithography의 定義(정의) 및 공정
1.test(실험) title 2.test(실험) 목적 3.내용 4.절차
- 반도체 제조공정과 定義(정의)
설명
공업화학실험 - SiO2 박막식각 및 PR제거 예비보고서 [이용대상]
- OLED의 定義(정의), 구동원리, 구조, Task 와 展望(전망) , 응용분야
[화학Engineering] SiO2 박막식각 및 PR제거 예비보고서
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